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            EJA壓力變送器的原理簡(jiǎn)介

            更新時(shí)間: 2024-05-15  點(diǎn)擊次數(shù): 544次
            EJA壓力變送器的原理簡(jiǎn)介:
              EJA壓力變送器由單晶硅諧振式傳感器上的兩上H形的振動(dòng)梁分別將差壓、壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào),送到脈沖計(jì)數(shù)器,再將兩頻率之差直接傳遞到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為與輸入信號(hào)相對(duì)應(yīng)的4~20mADC的輸出信號(hào),并在模擬信號(hào)上疊加一個(gè)BRAIN/HART數(shù)字信號(hào)進(jìn)行通信。
              1、結(jié)構(gòu)原理(如果有需要傳感器原理結(jié)構(gòu)圖的可以與我)
              單晶硅諧振傳感器的核必部分,即在一單晶硅芯片上采用微電子機(jī)械加工技術(shù)(MEMS),分別在其表面的中心和邊緣作成兩個(gè)形狀、大小*一致的H形狀的諧振梁(H型狀諧振器有兩個(gè)振梁),且處于微型真空腔中,使其即不與充灌液接觸,又確保振動(dòng)時(shí)不受空氣阻尼的影響。
              2、諧振梁振動(dòng)原理
              硅諧振梁處于由*磁鐵提供的磁場(chǎng)中,與變壓器、放大器等組成一正反饋回路,讓諧振梁在回路中產(chǎn)生振蕩。
              3、受力情況
              當(dāng)單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時(shí)將產(chǎn)生形變,中心處受至壓縮力,邊緣處受到張力,因而兩個(gè)形狀振梁分別感受不同應(yīng)變作用,其結(jié)果是中心諧振梁受壓縮力而頻減少,邊側(cè)諧振梁因受張力而頻率之差對(duì)應(yīng)不同的壓力信號(hào)。

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